2025年04月01日
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随着半导体行业的一直立异， ifm易福门（AHTE 2025展位号：E2-C01）为智能半导体制造提供了一系列的立异解决计划，旨在提升质量、提高产量，并实现可一连生长目的。
今天先聊一下ifm半导体制造中的Sub-fab（工厂辅助设施）流程怎样从自动化中获益，尤其是工厂怎样通过实时监控实现降本增效。 |
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化学品运送系统（CDS） |
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化学品被普遍用于半导体生产的多个阶段，如沉积、光刻胶涂覆、光刻、蚀刻、洗濯、薄膜沉积和抛光。为确�；返拇慷�，非接触式液位丈量被普遍用于检测化学品液位。电容式丈量手艺只需举行简朴的空罐调解并辅以实现理想设置的显示指南，就能战胜管道或储罐壁上的气泡或附着物所带来的挑战。
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KQ10系列一连性监控液位传感器：
KI60系列电容式靠近开关：
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通过一连监测泵的康健状态 举行展望性维护，提高装备可用性
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在半导体制造历程中，真空是半导体生产中各个工序普遍使用的支持系统。扩散、沉积和蚀刻等许多工艺都是在受控情形中举行，而干式真空泵关于建设和坚持无菌情形至关主要。 |
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01 基于振动监测的展望性维护
ifm 振动传感器可监测泵的康健状态，避免增压泵和干泵爆发灾难性故障，导致长时间的可用性损失。振动系统可同时监测五个方面的机械问题：攻击、疲劳、摩擦、严重水平和温度。它们还能监测转动轴承等特定机械部件，实时监控这些数据使传感器能够检测到即将爆发的故障，镌汰妄想外�；奔�。ifm的VSA振动传感器和VSE振动剖析�？�，能为真空泵的故障诊断提供数据支持，在其效率低下时发出警示，实现能源优化。
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02 通过一连监测流量确保适当的冷却效果
冷却水用于散发泵内压缩历程中爆发的热量。冷却工艺关于坚持泵的寿命和效率也不可小觑。古板的机械式流量计会随着时间的推移而损坏或卡住。ifm的SU 超声波流量计提供高精度丈量，无任何机械部件或障碍物，从而能最大限度地镌汰压降。
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03 通过一连丈量温度坚持泵的功效
泵的外壳温度升高批注摩擦增添，这也可能会导致泵故障。使用TP+TS分体式测温计划对泵体外貌温度举行监测，关于坚持泵的康健状态，阻止价钱高昂的�；奔渲凉刂饕�。 通过IO-Link，可将传感器收罗到的所有数据发送到外地安排的更高层级软件系统，以便举行趋势展望和剖析，工厂可以使用该实时数据来实时监测装备康健状态。
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超纯水系统 |
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01 通过电导率丈量确保水质
在半导体等众多行业中，超纯水系统的完整性很是要害，由于纵然是细小的杂质也会导致重大的生产损失，导致数百小时的半导体晶圆生产无效。水的电导率是反应其纯度的主要标记。ifm的LDL电导率传感器就是一种高性价比解决计划，它能够实时监测水质，指导净化工艺的调解，确保供水系统的稳固和高效运行。它可检测水中低至0.04μS/cm的电导率，一连控制制水历程质量。
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02 超纯水出水管 | 产出流量监测
通过准确监测对种种机械的超纯水供应，可以确保工艺的一致性和产品质量。SU Puresonic超声波流量传感器接纳超声波手艺，可准确丈量高达1000L/min的超纯水或水的流量，集成温度丈量功效，它提供高度准确的在线丈量历程，可消除壁厚和管道质料转变的任何影响。
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03 通过高准确度液位丈量改善水的分派
坚持准确的水位可以避免贮存和分派时代爆发污染。液位监测可以确保资源的可用性、避免干转并优化水的使用率，所有这些对制造历程中的资源节约至关主要。 机械式浮动开关会被卡住，导致过失的液位指示，造成超纯水处置惩罚系统过早关闭。ifm的LW非接触式雷达液位传感器没有任何运动部件，可装置在产品储罐的外侧，阻止与金属部件接触并确保产品质量。80 GHz丈量手艺可以对所有高达10 米的储罐举行高精度丈量（± 2 mm），镌汰体积盘算的误差。
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作为智能装配与自动化国际盛会，AHTE 2025将汇聚汽车零部件、汽车电子、新能源三电、医疗器械、3C电子、半导体、家电、机械制造、食物/饮料包装、机械制造、航天航空、轨交、玻璃、电梯、光伏、储能等应用行业智能装配与自动化解决计划，资助制造业终端用户及机械装备制造商优化妆配制造流程及解决生产制造难点，知足企业的柔性化、数字化、智能化、自动化需求，突破行业生产头脑壁垒，提升先进制造竞争力！
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封面图及内容泉源：ifm易福门电子 整理：AHTE 内容营销团队 |
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